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美利体育登录入口官网:GB/T 18193-2000
真空技术 质谱检漏仪校准

Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration

GBT18193-2000, GB18193-2000

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 18193-2000
别名
GBT18193-2000, GB18193-2000
发布
2000年
国际标准分类(ICS)
23.160 真空技术   
总页数
13页
采用标准
ISO 3530:1979 IDT
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 18193-2000
 
 
 
 
本体
校准程序 漏率
适用范围
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10<上角-12>Pa·m<上角3>·s<上角-1>漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。
术语描述
本底
Background
没有注入探索气体时发生的信号。
漂移
Drift
本底较缓慢的变化。
噪声
Noise
本底比较快地变化。
氨木底
Ammonia background
由检漏仪壁或美利体育登录入口官网系统引起的本底信号。

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漏孔
允许气流通过的结构,用于测试泄漏率。
质谱管
用于分离和分析气体离子的装置。
阴极
质谱管内用于电离气体的电子源。

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