漏率是单位时间内气体通过漏孔泄漏的数量，通常以Pa·m?/s为单位。在已知压差条件下，定义给定时间内干燥气体通过泄漏点的量。该参数用于评估密封性能，是检漏结果的核心指标，适用于半导体器件等场景。
| 标准号 & 类别 | 标准名称 | 发布 |
|---|---|---|
| DIN EN ISO 20484 E:2016-01 术语 |
无损美利体育登录入口官网 泄漏美利体育登录入口官网 词汇（草案） Nondestructive Testing Leak Detection Glossary (Draft)
氦质谱检漏仪 泄漏 |
2016-01 德国标准化学会 |
| GB/T 18193-2000 CP |
Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration
校准程序 |
2000-09-26 国家市场监督管理总局 |
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真空绝热深冷美利体育官网首页网址性能试验方法 第3部分：漏率测量 Testing method of performance for vacuum insulation cryogenic equipment.Part 3:Leak rate measurement
氦质谱检漏仪 |
2010-09-26 国家市场监督管理总局 |
| GB/T 40336-2021 规范/规程 |
无损美利体育登录入口官网 泄漏美利体育登录入口官网 气体参考漏孔的校准 Non-destructive testing—Leak testing—Calibration of reference leaks for gases
校准方法 |
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Semiconductor Devices - Mechanical and Climatic Test Methods - Part 8: Sealing
密封 |
2025-12-31 国家市场监督管理总局 |
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Vacuum technology. Valves. Leak test
|
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Cold cathod ionization vacuum gauge head
灵敏度 |
2013-12-31 行业标准-机械 |
| JB/T 13366-2018 试验 |
Vacuum Technology Power Capacitor Vacuum Drying and Impregnation Equipment
|
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Vacuum Valve
公称通径 |
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氦质谱检漏仪 |
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|
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半导体器件 机械和环境测试方法 第8部分：气密性（IEC 60749-8:2002 + 2003年修正案） Semiconductor devices. Mechanical and climatic test methods. Part 8: Sealing (IEC 60749-8:2002 + corrigendum 2003)
密封性 |
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Bubble Leak Test Method
|
2005-1-1 行业标准-航天 |
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Performance requirements and test method for helium mass spectrometer leak detector
氦质谱检漏仪 |
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Sealing tests for pressurized waveguide components and assemblies
|
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