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真空技术 质谱检漏仪校准

Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration

GBT18193-2000, GB18193-2000


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GB/T 18193-2000

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标准号
GB/T 18193-2000
别名
GBT18193-2000
GB18193-2000
发布
2000年
ICS
23.160
总页数
13页
采用标准
ISO 3530:1979 IDT
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 18193-2000
 
 
 
 
本体
校准程序 漏率

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下,可以使用其他探索气体,如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10<上角-12>Pa·m<上角3>·s<上角-1>漏率漏孔限制。 本标准程序...

术语 
本底 Background
漂移 Drift
噪声 Noise
氨木底 Ammonia background

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漏孔
允许气流通过的结构,用于测试泄漏率。
质谱管
用于分离和分析气体离子的装置。
阴极
质谱管内用于电离气体的电子源。

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