美利体育登录入口官网:JIS Z 8754:1999
真空技术.质谱型泄漏美利体育登录入口官网仪的校正
Vacuum technology -- Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
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- 标准号
- JIS Z 8754:1999
- 发布
- 1999年
- 国际标准分类(ICS)
- 23.160 真空技术
- 总页数
- 26页
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS Z 8754:1999
- 引用标准
- ISO 3530:1979 JIS Z 2331:1992
- 被代替标准
- JIS Z 8754:1988
- 本体
- 校正
- 适用范围
- 本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 背景信号 Background | 检漏仪在无泄漏气体输入时，由仪器本身或环境因素产生的信号。 |
| 漂移 Drift | 检漏仪输出信号随时间发生的缓慢变化，通常由温度变化或仪器老化引起。 |
| 噪声 Noise | 检漏仪输出信号中随机的、无规律的波动，影响最小可美利体育登录入口官网信号的识别。 |
| 氦背景 Helium background | 环境中存在的微量氦气在检漏仪中产生的背景信号。 |
| 进气管路 Inlet line or sample inlet line | 将被测气体引入检漏仪分析管的管路。 |
| 进气管阀 Inlet valve | 控制气体进入检漏仪分析管的阀门。 |
| 泄漏隔离阀 Leak isolation valve | 用于隔离被测泄漏点与检漏仪分析部分的阀门。 |
| 泵阀 Pump valve | 控制真空泵与检漏仪分析部分连接的阀门。 |
| 排气阀 Vent valve | 用于将检漏仪分析部分与大气连通的阀门。 |
| 回零控制 Backing-off control, zero control | 调节检漏仪输出信号至零点的控制装置。 |
| 灯丝 Filament | 检漏仪中用于发射电子的加热元件。 |
| 质谱分析管 Mass spectrometer tube | 检漏仪的核心部件，利用磁场和电场分离不同质荷比的离子以美利体育登录入口官网气体成分。 |
| 搜索气体 Search gas | 用于检漏测试的示踪气体，常用氦气。 |
| 泄漏 Leak | 气体通过真空系统壁面或连接处从高压侧向低压侧的流动。 |
| 泄漏率 Leak rate | 单位时间内通过泄漏点的气体量，通常以标准空气漏率表示。 |
| 标准空气漏率 Standard air leak rate | 在标准条件下（100 kPa, 5% 误差，23°C），通过泄漏点的空气流量。 |
| 等效标准空气漏率 Equivalent standard air leak rate | 将其他气体（如氦气）的漏率换算成标准空气漏率的数值。 |
| 峰值 Peak | 检漏仪输出信号中由于泄漏气体进入而产生的瞬时最大值。 |
| 平均 Mean | 检漏仪输出信号在一定时间内的平均值。 |
| 调谐 Tune | 调整质谱分析管的工作参数（如电压、磁。┮杂呕览逵锹既肟诠偻阅艿墓。 |
| 零点 Zero | 检漏仪在无目标气体时的基准输出状态。 |
| 相对气体浓度 Relative gas concentration | 目标气体在混合气体中的浓度比例。 |
| 浓度比 Concentration ratio | 目标气体浓度与参考气体浓度的比值。 |
| 摩尔分数 Mole fraction | 目标气体的摩尔数与混合气体总摩尔数的比值。 |
| 分压 Partial pressure | 混合气体中某组分气体单独占据相同体积时所产生的压力。 |
| 灵敏度 Sensitivity | 检漏仪输出信号变化量与输入气体量变化量的比值。 |
| 最小可检信号 Minimum detectable signal | 检漏仪能够可靠识别的最小信号输出。 |
| 最小可检漏 Minimum detectable leak | 检漏仪能够检出的最小泄漏量。 |
| 最小可检漏率 Minimum detectable leak rate | 检漏仪能够检出的最小泄漏速率。 |
| 最小可检浓度比 Minimum detectable concentration ratio | 检漏仪能够检出的最小气体浓度与背景浓度的比值。 |
| 时间常数 Time constant | 检漏仪响应达到最终值63.2%所需的时间。 |
| 响应时间 Response time | 检漏仪从气体进入至输出信号达到稳定值90%所需的时间。 |
| 清洗时间 Cleanup time, clearing time | 停止气体输入后，检漏仪输出信号恢复到背景水平所需的时间。 |
| 通道泄漏 Channel leak | 气体通过检漏仪内部通道发生的泄漏。 |
| 膜泄漏 Membrane leak | 气体通过半透膜发生的泄漏。 |
| 分子泄漏 Molecular leak | 在自由分子流状态下发生的泄漏。 |
| 粘性泄漏 Viscous leak | 在粘性流状态下发生的泄漏。 |
| 校准泄漏 Calibrated leak | 经过精确标定、具有已知漏率的泄漏源。 |
| 标准泄漏 Standard leak | 符合标准规定的、具有确定漏率的泄漏源。 |
| 虚拟泄漏 Virtual leak | 由于系统内部封闭空间（如死体积）内气体缓慢释放而产生的表观泄漏。 |
美利体育登录入口官网: JIS Z 8754:1999 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 标准泄漏源 未提及 | 具有已知精确漏率的泄漏装置，用于检漏仪的灵敏度校正。 |
| 质量分析计形检漏仪 未提及 | 用于真空系统检漏的质谱型仪器，通过美利体育登录入口官网示踪气体（如氦气）的浓度来定位泄漏点。 |