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美利体育登录入口官网:JIS Z 8754:1999
真空技术.质谱型泄漏美利体育登录入口官网仪的校正

Vacuum technology -- Mass-spectrometer-type leak-detector calibration


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JIS Z 8754:1999

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标准号
JIS Z 8754:1999
发布
1999年
ICS
23.160
总页数
26页
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS Z 8754:1999
 
 
引用标准
ISO 3530:1979 JIS Z 2331:1992
被代替标准
JIS Z 8754:1988
 
 
本体
校正

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。

术语 
背景信号 Background
漂移 Drift
噪声 Noise
氦背景 Helium background
进气管路 Inlet line or sample inlet line
进气管阀 Inlet valve
泄漏隔离阀 Leak isolation valve
泵阀 Pump valve
排气阀 Vent valve
回零控制 Backing-off control, zero control
灯丝 Filament
质谱分析管 Mass spectrometer tube
搜索气体 Search gas
泄漏 Leak
泄漏率 Leak rate
标准空气漏率 Standard air leak rate
等效标准空气漏率 Equivalent standard air leak rate
峰值 Peak
平均 Mean
调谐 Tune
零点 Zero
相对气体浓度 Relative gas concentration
浓度比 Concentration ratio
摩尔分数 Mole fraction
分压 Partial pressure
灵敏度 Sensitivity
最小可检信号 Minimum detectable signal
最小可检漏 Minimum detectable leak
最小可检漏率 Minimum detectable leak rate
最小可检浓度比 Minimum detectable concentration ratio
时间常数 Time constant
响应时间 Response time
清洗时间 Cleanup time, clearing time
通道泄漏 Channel leak
膜泄漏 Membrane leak
分子泄漏 Molecular leak
粘性泄漏 Viscous leak
校准泄漏 Calibrated leak
标准泄漏 Standard leak
虚拟泄漏 Virtual leak

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标准泄漏源

未提及
具有已知精确漏率的泄漏装置,用于检漏仪的灵敏度校正。
质量分析计形检漏仪

未提及
用于真空系统检漏的质谱型仪器,通过美利体育登录入口官网示踪气体(如氦气)的浓度来定位泄漏点。

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美利体育登录入口官网: JIS Z 8754:1999相似标准


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