美利体育登录入口官网:JIS Z 8754:1999
真空技术.质谱型泄漏美利体育登录入口官网仪的校正
Vacuum technology -- Mass-spectrometer-type leak-detector calibration
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- 标准号
- JIS Z 8754:1999
- 发布
- 1999年
- ICS
-
23.160
- 总页数
- 26页
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS Z 8754:1999
- 引用标准
- ISO 3530:1979 JIS Z 2331:1992
- 被代替标准
- JIS Z 8754:1988
- 本体
- 校正
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。
| 术语 | |
|---|---|
| 背景信号 | Background |
| 漂移 | Drift |
| 噪声 | Noise |
| 氦背景 | Helium background |
| 进气管路 | Inlet line or sample inlet line |
| 进气管阀 | Inlet valve |
| 泄漏隔离阀 | Leak isolation valve |
| 泵阀 | Pump valve |
| 排气阀 | Vent valve |
| 回零控制 | Backing-off control, zero control |
| 灯丝 | Filament |
| 质谱分析管 | Mass spectrometer tube |
| 搜索气体 | Search gas |
| 泄漏 | Leak |
| 泄漏率 | Leak rate |
| 标准空气漏率 | Standard air leak rate |
| 等效标准空气漏率 | Equivalent standard air leak rate |
| 峰值 | Peak |
| 平均 | Mean |
| 调谐 | Tune |
| 零点 | Zero |
| 相对气体浓度 | Relative gas concentration |
| 浓度比 | Concentration ratio |
| 摩尔分数 | Mole fraction |
| 分压 | Partial pressure |
| 灵敏度 | Sensitivity |
| 最小可检信号 | Minimum detectable signal |
| 最小可检漏 | Minimum detectable leak |
| 最小可检漏率 | Minimum detectable leak rate |
| 最小可检浓度比 | Minimum detectable concentration ratio |
| 时间常数 | Time constant |
| 响应时间 | Response time |
| 清洗时间 | Cleanup time, clearing time |
| 通道泄漏 | Channel leak |
| 膜泄漏 | Membrane leak |
| 分子泄漏 | Molecular leak |
| 粘性泄漏 | Viscous leak |
| 校准泄漏 | Calibrated leak |
| 标准泄漏 | Standard leak |
| 虚拟泄漏 | Virtual leak |
美利体育登录入口官网: JIS Z 8754:1999 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 标准泄漏源 未提及 | 具有已知精确漏率的泄漏装置，用于检漏仪的灵敏度校正。 |
| 质量分析计形检漏仪 未提及 | 用于真空系统检漏的质谱型仪器，通过美利体育登录入口官网示踪气体（如氦气）的浓度来定位泄漏点。 |