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本标准规定了非本征半导体材料导电类型的测试方法。 本标准适用于硅、锗非本征半导体材料导电类型的测试,其他非本征半导体材料可参照本标准测试。本标准方法能保证对均匀的同一导电类型的材料测得可靠结果;对于导电类型不均匀的材料,可在其表面上测出不同导电类型区域。 本标准不适用于分层结构材料(如外延片)导电类型的测试。
| 冷探针法美利体育官网首页网址 由铜材或铝材制成的探针,带绝缘处理。 | 用于通过温度变化美利体育登录入口官网导电类型。 |
| 热探针法美利体育官网首页网址 由两支不锈钢或镍材料制成的探针,带加热功能。 | 用于通过热电势信号美利体育登录入口官网导电类型。 |
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