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美利体育登录入口官网:ISO 19606:2024
精细陶瓷(先进陶瓷 先进技术陶瓷) 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for surface roughness of fine ceramic films by atomic force microscopy


美利体育登录入口官网: ISO 19606:2024 发布历史

ISO 19606:2024由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2024-11-01。

ISO 19606:2024在国际标准分类中归属于: 81.060.30 高级陶瓷。

ISO 19606:2024 精细陶瓷(先进陶瓷 先进技术陶瓷) 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法的最新版本是哪一版?

最新版本是 ISO 19606:2024 。

标准号
ISO 19606:2024
发布时间
2024-11
标准名称
精细陶瓷(先进陶瓷、先进工程陶瓷)原子力显微镜法测定精细陶瓷薄膜表面粗糙度的试验方法
ICS
17.220
发布机构
国际标准化组织 (ISO)
代替/废止文件关系
ISO 19606:2017
专利声明(未识别专利)
ISO 注意到实施本文件可能涉及一项或多项专利。ISO 对有关这些专利的有效性、适用性或证据的立场不予置评。截至本文件出版之日,ISO 尚未收到关于实施本文件所需的任何专利的通知。然而,实施者应注意到,这并不代表最新信息,最新信息可从 www.iso.org/patents 处的专利数据库获得。ISO 不对识别任何此类专利权负责。
提出和归口信息
由技术委员会 ISO/TC 206(精细陶瓷)编制
版本历史
第二版(2024-11)取代并替代第一版(ISO 19606:2017),进行了技术修订。主要变更包括:条款3中ISO 4287和ISO 4288被ISO 21920-1至3替代;6.2和条款3的修订;全文符号修订(移至下标);附录A由规范性改为资料性。
编制原因和目的
原子力显微镜法在纳米尺度上测量精细陶瓷薄膜的表面粗糙度已广泛应用于工业质量控制和保证。由于原子力显微镜测量存在尺度依赖性,探针尖端磨损或商用探针尖端曲率偏差导致粗糙度测量结果出现偏差,难以获得可靠和可重复的结果。因此,标准化评估探针尖端直径或曲率半径的方法非常有必要。本文件旨在提供评估探针尖端直径的方法,并判断探针尖端是否适用于生产线上或质量保证过程中对具有特定算术平均粗糙度的精细陶瓷薄膜进行日常粗糙度测量。
技术内容特殊信息
由于表面粗糙度是一种尺度依赖的计量参数,探针尖端评估过程不可避免地包含一些相互矛盾的步骤,即探针尖端对粗糙度测量的适用性取决于感兴趣的尺度下不可测量的真实粗糙度。本文件使用基于粗糙度轮廓的参数,粗糙度轮廓根据ISO 16610-21使用低通滤波器获得。采样长度(等同于截止波长)的获取过程见ISO 21920-2。

ISO 19606:2024 发布之时,引用了标准

  • ISO 11039 表面化学分析 扫描探针显微术 过量测量
  • ISO 11952 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
  • ISO 18115-2 表面化学分析词汇第2部分:扫描探针显微镜术语
  • ISO 21920-1 产品几何技术规范(GPS).表面结构:轮廓.第1部分:表面结构的指示
  • ISO 21920-2 产品几何技术规范(GPS).表面结构:轮廓.第2部分:术语、定义和表面结构参数
  • ISO 21920-3 产品几何技术规范(GPS).表面结构:轮廓.第3部分:规范
  • ISO 25178-2 产品几何技术规范(GPS).表面结构:区域.第2部分:术语、定义和表面结构参数

ISO 19606:2024的历代版本如下:

  • 2024年 ISO 19606:2024 精细陶瓷(先进陶瓷 先进技术陶瓷) 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法
  • 2017年 ISO 19606:2017 精细陶瓷(高级陶瓷, 高级工业陶瓷). 采用原子力显微技术的精细陶瓷薄膜表面硬度试验方法

 

本文件规定了通过原子力显微镜评估精细陶瓷薄膜表面粗糙度测量探针尖端充分性的方法。此方法适用于算术平均粗糙度 \(R_{\mathrm{p}}\) 在约 \(1 \mathrm{~nm}\) 至 \(30 \mathrm{~nm}\) 范围内以及轮廓要素的平均宽度 \(R_{\mathrm{sm}}\) 在约 \(0,04 \mu \mathrm{m}\) 至 \(2,5 \mu \mathrm{m}\) 范围内的表面。

采用 ISO 19606 的发行版本有:

  • BS ISO 19606:2017 精细陶瓷(高级陶瓷, 高级工业陶瓷). 采用原子力显微技术的精细陶瓷薄膜表面硬度试验方法
术语描述
评估长度
evaluation length
在 \(X\) 或 \(Y\) 方向上表面轮廓的长度,表示为 \(l_{\mathrm{G}}(X), l_{\mathrm{G}}(Y)\)
标准板
standard plate
用于评估探针尖端直径的针状突起形成的板
探针尖端直径
probe-tip diameter
在距尖端 \(10 \mathrm{~nm}\) 处的探针尖端直径,表示为 \(D\)

ISO 19606:2024

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标准号
ISO 19606:2024
发布
2024年
ICS
81.060.30
总页数
32页
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 19606:2024
 
 
引用标准
ISO 11039 ISO 11952 ISO 18115-2 ISO 21920-1 ISO 21920-2 ISO 21920-3 ISO 25178-2

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原子力显微镜系统

配备扫描器和样品台,具有 \(XYZ\) 方向运动能力
由 cantilever、美利体育登录入口官网cantilever偏转的美利体育登录入口官网系统和样品台组成,安装在防振台上以满足环境要求

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