美利体育登录入口官网:ISO 19606:2024
精细陶瓷（先进陶瓷 先进技术陶瓷） 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for surface roughness of fine ceramic films by atomic force microscopy
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- 标准号
- ISO 19606:2024
- 发布
- 2024年
- ICS
-
81.060.30
- 总页数
- 32页
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 19606:2024
- 引用标准
- ISO 11039 ISO 11952 ISO 18115-2 ISO 21920-1 ISO 21920-2 ISO 21920-3 ISO 25178-2
本文件规定了通过原子力显微镜评估精细陶瓷薄膜表面粗糙度测量探针尖端充分性的方法。此方法适用于算术平均粗糙度 \(R_{\mathrm{p}}\) 在约 \(1 \mathrm{~nm}\) 至 \(30 \mathrm{~nm}\) 范围内以及轮廓要素的平均宽度 \(R_{\mathrm{sm}}\) 在约 \(0,04 \mu \mathrm{m}\) 至...
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| 原子力显微镜系统 配备扫描器和样品台，具有 \(XYZ\) 方向运动能力 | 由 cantilever、美利体育登录入口官网cantilever偏转的美利体育登录入口官网系统和样品台组成，安装在防振台上以满足环境要求 |