美利体育登录入口官网:ISO 19606:2024
精细陶瓷（先进陶瓷 先进技术陶瓷） 原子力显微镜对细陶瓷膜表面粗糙度的测试方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for surface roughness of fine ceramic films by atomic force microscopy
标准技术演进与背景
ISO 19606:2024替代2017版标准，主要修订内容包括：
- 引用标准更新为ISO 21920系列表面结构规范
- 探针直径评估方法优化
- 数学符号标注方式统一调整为下标形式
核心测量参数范围
| 参数 | 测量范围 | 单位 |
|---|---|---|
| 算术平均粗糙度(Ra) | 1-30 | nm |
| 轮廓单元平均宽度(Rsm) | 0.04-2.5 | μm |
关键仪器要求
美利体育登录入口官网:原子力显微镜系统配置规范
- 扫描范围≥10μm×10μm（XY平面）
- 悬臂梁谐振频率>100kHz
- Z方向分辨率<0.1nm
探针直径评估方法
标准规定使用针状突起标准板评估探针直径，关键步骤：
- 扫描1.28μm×1.28μm区域（512×512像素）
- 在针尖顶部10nm处绘制横截面轮廓
- 通过公式D=2√(D'?/40+10-2R')计算有效直径
典型标准板参数：
- 针尖曲率半径：10nm
- 针尖高度：300-600nm
- 针尖间距：2.12μm
误差评估模板应用
标准提供Ra=1/3/10/30nm四种误差评估模板，包含：
| 判定线 | 允许误差 | 应用场景 |
|---|---|---|
| 实线 | <20% | 常规质量控制 |
| 虚线 | <5% | 高精度研发 |
实施建议
美利体育登录入口官网:环境控制要点
- 温度：18-25℃（波动<±1℃/h）
- 湿度：≤70%RH
- 振动：<1×10-3m/s2(<100Hz)
美利体育登录入口官网:测量频率建议
根据Rsm值选择评估长度：
- Rsm=0.04-0.1μm → 2μm
- Rsm=1.0-2.5μm → 50μm
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- 标准号
- ISO 19606:2024
- 发布
- 2024年
- ICS
-
81.060.30
- 总页数
- 32页
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 19606:2024
- 引用标准
- ISO 11039 ISO 11952 ISO 18115-2 ISO 21920-1 ISO 21920-2 ISO 21920-3 ISO 25178-2
本文件规定了通过原子力显微镜评估精细陶瓷薄膜表面粗糙度测量探针尖端充分性的方法。此方法适用于算术平均粗糙度 \(R_{\mathrm{p}}\) 在约 \(1 \mathrm{~nm}\) 至 \(30 \mathrm{~nm}\) 范围内以及轮廓要素的平均宽度 \(R_{\mathrm{sm}}\) 在约 \(0,04 \mu \mathrm{m}\) 至...
美利体育登录入口官网: ISO 19606:2024 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 原子力显微镜系统 配备扫描器和样品台，具有 \(XYZ\) 方向运动能力 | 由 cantilever、美利体育登录入口官网cantilever偏转的美利体育登录入口官网系统和样品台组成，安装在防振台上以满足环境要求 |