美利体育登录入口官网:SJ/T 31066-1994
3180型溅射台完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for Type 3180 sputtering coaters
SJT31066-1994, SJ31066-1994
2010-02-25
- 标准号
- SJ/T 31066-1994
- 别名
- SJT31066-1994, SJ31066-1994
- 发布
- 1994年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址
- 总页数
- 5页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31066-1994
- 适用范围
- 本标准规定了3180型溅射台的完好要求和检查、评定方法。 本标准用于半导体器件、集成电路生产用类似3180型结构的溅射台；其它型号、规格的溅射台，亦可参照有关条款执行。