美利体育登录入口官网:SJ/T 31273-1994
EVP-13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for EVP-13480 magnetron sputtering machines
SJT31273-1994, SJ31273-1994
- 标准号
- SJ/T 31273-1994
- 别名
- SJT31273-1994, SJ31273-1994
- 发布
- 1994年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址
- 总页数
- 4页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31273-1994
- 本体
- 完好美利体育官网首页网址
- 适用范围
- 本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 磁控溅射 Magnetron Sputtering | 是在靶上外加互相垂直的磁场和电。谝欢ǖ恼婵涨榭鱿，发生浓密度的等离子体，利用等离子体的作用形成膜层。 |
美利体育登录入口官网: SJ/T 31273-1994 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 兆欧表 | 用于美利体育登录入口官网美利体育官网首页网址接地漏电情况的仪器。 |
| 真空表 | 用于美利体育登录入口官网美利体育官网首页网址极限压力的仪器。 |