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3180型溅射台完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for Type 3180 sputtering coaters
SJT31066-1994, SJ31066-1994
2010-02
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- 标准号
- SJ/T 31066-1994
- 别名
- SJT31066-1994
SJ31066-1994 - 发布
- 1994年
- ICS
-
31.550
- 总页数
- 5页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31066-1994
本标准规定了3180型溅射台的完好要求和检查、评定方法。 本标准用于半导体器件、集成电路生产用类似3180型结构的溅射台；其它型号、规格的溅射台，亦可参照有关条款执行。