美利体育登录入口官网:GB/T 42709.2-2026
半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 2: Test method for tensile testing of thin films
GBT42709.2-2026, GB42709.2-2026
2026-11-01
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美利体育登录入口官网: GB/T 42709.2-2026 发布历史
GB/T 42709.2-2026由国家市场监督管理总局 国家标准化管理员会 CN-GB 发布于 2026-04-30，并于 2026-11-01 实施。
GB/T 42709.2-2026 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
GB/T 42709.2-2026 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 42709.2-2026 。
GB/T 42709.2-2026 采用标准及采用方式
- IDT IEC 62047-2:2006半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
- 标准号
- GB/T 42709.2—2026
- 发布时间
- 2026-04-30
- 标准名称
- 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
- 发布机构
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 编制依据
- 按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
- 文件关系说明
- 本文件是GB/T 42709《半导体器件 微电子机械器件》的第2部分。
- 与国际文件关系
- 本文件等同采用IEC 62047-2:2006《半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法》。
- 专利声明（未识别专利）
- 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
- 提出和归口信息
- 本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出。本文件由全国集成电路标准化技术委员会归口。
- 起草信息
- 起草单位：河北美泰电子科技有限公司、中国电科产业基础研究院。主要起草人：梁彦青、罗蓉、姚世婷、周明琴、刘聪聪、杨拥军、吝海锋。
- 编制原因和目的
- 本文件等同采用IEC 62047-2:2006，能使我国相关领域的检验方法与国际接轨，促使我国半导体器件的质量达到国际水平。
- 技术内容特殊信息
- 本文件增加了“术语和定义”一章。
- 分部分标准的各部分关系
- GB/T 42709《半导体器件 微电子机械器件》拟由22个部分构成，包括第2部分薄膜材料拉伸试验方法、拉伸试验用薄膜标准试验片、射频MEMS开关、薄膜材料轴向疲劳试验方法、体声波滤波器和双工器、带材弯曲试验方法、晶圆间键合强度测量、悬空MEMS材料线性热膨胀系数测试方法、弯曲疲劳试验方法、MEMS结构黏结强度弯曲和剪切试验方法、膜残余应力试验方法、电子罗盘、泊松比测试方法、柔性衬底导电薄膜机电拉伸测试方法、微沟槽和针结构描述和测量方法、玻璃浆料键合强度微型T形试验测量方法、室温下悬空导电薄膜机电松弛试验方法、谐振器非线性振动测试方法、柔性MEMS器件弯曲变形下电特性测试方法、压电薄膜环境及介电耐压试验方法、互连中金属粉末膏体粘附强度测试方法、惯性冲击开关阈值测试方法等。
GB/T 42709.2-2026 发布之时，引用了标准
- GB/T 228 金属材料 室温拉伸试验方法
GB/T 42709.2-2026的历代版本如下：
- 2026年 GB/T 42709.2-2026 半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
本文件描述了长度和宽度均小于标准规定值、厚度小于标准规定值的薄膜材料的拉伸试验方法。该类薄膜材料是微机电系统、微机械和同类微型器件的主要结构材料。微机电系统、微机械和同类微型器件使用的薄膜结构材料具有特殊特征，如典型尺寸为微米级、材料采用淀积工艺制备、试验片通过刻蚀和光刻等非机械加工工艺制备。本文件规定的试验方法能保证这类特殊性材料试验结果的准确性。
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- 标准号
- GB/T 42709.2-2026
- 别名
- GBT42709.2-2026
GB42709.2-2026 - 发布
- 2026年
- ICS
-
31.200
- 采用标准
- IEC 62047-2:2006 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 42709.2-2026
- 引用标准
- GB/T 228
- 本体
- 薄膜材料 试验片
美利体育登录入口官网: GB/T 42709.2-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| X射线荧光测厚仪 | 用于采用X射线荧光方法测量薄膜厚度。 |
| 干涉仪 | 用于非接触光学测量薄膜厚度。 |
| 椭偏仪 | 用于非接触光学测量薄膜厚度。 |
| 光刻美利体育官网首页网址 | 用于制备试验片和光刻掩膜。 |
| 加载单元 | 用于测量拉伸试验过程中施加的力，应保证抗拉强度测量精度。 |
| 压电驱动器 | 用于实现低位移速率加载拉伸力。 |
| 双视场显微镜 | 可将两个相距较远的测量标记整合到一个视野内同时美利体育登录入口官网。 |
| 拉伸试验美利体育官网首页网址 | 用于对薄膜试验片施加拉伸载荷并记录力与位移的试验美利体育官网首页网址。 |
| 探针式轮廓仪 | 用于测量试验片厚度或附近窗口台阶高度。 |
| 真空卡盘 | 用于固定安装试验片的基座。 |
| 磁致伸缩驱动机构 | 用于实现低位移速率加载拉伸力。 |
| 静电卡盘 | 用于固定安装试验片的基座。 |
| 非接触式光学伸长测量系统 | 用于测量试验片标距范围内的伸长量，可采用激光干涉或双视场显微镜。 |
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