美利体育登录入口官网:BS IEC 62899-503-3:2021
印刷电子产品 质量评估 印刷薄膜晶体管接触电阻的测量方法 转移长度法
Printed electronics. Quality assessment. Measuring method of contact resistance for the printed thin film transistor. Transfer length method
- 标准号
- BS IEC 62899-503-3:2021
- 发布
- 2021年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 16页
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS IEC 62899-503-3:2021
- 本体
- 接触电阻 薄膜晶体管
- 适用范围
- 本部分IEC 62899规定了通过转移长度法（TLM）测量印刷薄膜晶体管（TFT）接触电阻的方法。该方法需要制备具有不同源极和漏极之间沟道长度（L）的测试元件组（TEG）。该方法旨在评估TFT电极接触的质量，并适合确定接触电阻是否在所需范围内。
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