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美利体育登录入口官网:ASTM F1710-08(2016)
使用高质量分辨率辉光放电质谱仪测定电子级钛中痕量金属杂质的标准试验方法

Standard Test Method for Trace Metallic Impurities in Electronic Grade Titanium by High Mass-Resolution Glow Discharge Mass Spectrometer

标准号

ASTM F1710-08(2016)

发布

2008年

国际标准分类(ICS)

71.040.50 物理化学分析方法   

总页数

6页

当前最新

ASTM F1710-08(2016)

 

 

引用标准

ASTM E1257 ASTM E135 ASTM E173 ASTM E180 ASTM E691

 

 

本体

相对灵敏度因子 辉光放电质谱仪

本文件规定了高纯钛中痕量金属杂质浓度的测定方法，适用于磁扇区辉光放电质谱（GDMS）分析技术。

该方法主要应用于半导体行业，用于评估溅射靶材、蒸发源等薄膜金属化工艺所用材料的纯度。同时，本方法也可作为电子级钛材料生产方与使用方之间的仲裁测试方法，并有助于统一不同实验室间的分析协议与参数，提升数据的一致性。

本文件适用于基体钛纯度不低于99.9%（3N级）且无主要合金元素（如铝、铁）浓度超过1000×10^-6的样品。常规分析美利体育登录入口官网限约为0.01质量ppm，采取特殊预防措施可达亚ppb水平。本文件涵盖影响分析可靠性的关键因素，如样品制备、相对灵敏度因子设定及美利体育登录入口官网限确定等，但不包含完成GDMS分析所需的全部信息，需由经验丰富的操作人员使用精密美利体育官网首页网址执行。

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