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美利体育登录入口官网:BS ISO 14594:2014
微电子束分析.电子探测微观分析.波长色散光谱学用实验参数的测定指南

Microbeam analysis. Electron probe microanalysis. Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy

2024-06

标准号
BS ISO 14594:2014
发布
2014年
国际标准分类(ICS)
71.040.50 物理化学分析方法   
总页数
28页
发布单位
英国标准学会
替代标准
BS ISO 14594:2024
当前最新
BS ISO 14594:2024
 
 
引用标准
ISO/IEC 17025:2005
被代替标准
BS ISO 14594:2003
 
 
本体
束流 电子探针显微分析
适用范围
本国际标准提供了在进行电子探针显微分析时需要考虑的与主光束、波长谱仪和样品相关的实验参数的测定的一般指南。它还定义了测定束流、电流密度、死时间、波长分辨率、背景、分析区域、分析深度和分析体积的程序。 本国际标准适用于使用正常束入射对抛光良好的样品进行分析,所获得的参数只能作为其他实验条件的指示。 本国际标准不适用于能量色散X射线光谱分析。
术语描述
分析区域
analysis area
样品表面的二维区域,从中美利体育登录入口官网到完整信号或该信号的指定百分比。
分析深度
analysis depth
从样品表面到垂直于表面的底部,从中美利体育登录入口官网到完整信号或该信号的指定百分比。
分析体积
analysis volume
样品的三维区域,从中美利体育登录入口官网到完整信号或该信号的指定百分比。
背景
background
X射线光谱中由X射线连续谱引起的非特征成分。
束流
beam current
聚焦束中包含的电子电流。

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