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本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。本标准适用于符合GB/T 26071、GB/T 29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。
| 接触式厚度测量仪 | 通过机械接触测量硅片厚度,适用于分立式测量 |
| 无接触式厚度测量仪 | 采用非接触式传感器技术进行扫描测量,避免对硅片造成形变或损伤 |
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