本文件规定了利用自动电子背散射衍射（EBSD）扫描测定多晶材料平均晶粒尺寸的方法。该方法基于晶体学取向的定量测量，适用于完全再结晶的晶体材料。
本文件旨在规范自动EBSD仪器的操作，以直接测定晶粒尺寸。其适用范围涵盖任何能够产生高质量EBSD图谱、且高比例图谱可通过自动索引软件可靠索引的晶体材料，适用于各类晶粒结构及晶粒尺寸分布。
本文件所述数值均采用国际单位制（SI），该单位制视为标准单位。本文件未规定其他计量单位。
本文件未涵盖所有与使用相关的安全问题。用户有责任建立适当的安全与健康实践，并在使用前确定相关法规限制的适用性。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 清理 cleanup | 对EBSD扫描数据应用的后处理，将扫描网格中的无关点重新分配到邻近点。无关点通常来自未索引或错误索引的EBSD图案。 |
| 晶体取向 (crystallographic) orientation | 将晶体的主轴与样本的指定主轴对齐所需的旋转。例如，在具有立方晶体对称性的轧制材料中，它是将晶体的[100]、[010]和[001]轴与样本的轧制、横向和法向方向对齐所需的旋转。 |
| 电子背散射衍射 electron backscatter diffraction (EBSD) | 一种技术，将晶体样本置于高倾斜角度（约70°）的扫描电子显微镜（SEM）中。当电子束静止在晶粒上时，电子在小体积内散射，满足布拉格定律的电子被衍射回样本外。衍射电子撞击放置在腔室中的荧光屏，产生图案。图案由一组相交的带（菊池线）组成，这些带反映了衍射晶体体积中晶格平面的排列。 |
| EBSD图案 EBSD pattern | 由一组相交的带组成的图案。这些带的几何排列反映了衍射体积中晶格平面的晶体取向。 |
| EBSD扫描 EBSD scan | 在计算机控制下，SEM的电子束移动到样本上的一个点，捕获EBSD图案并索引以确定电子束位置的晶体取向。此过程在规则网格的一组点上重复。 |
| 电子背散射衍射系统 安装在扫描电子显微镜（SEM）上 | 由低光敏视频相机（通常是电荷耦合器件或CCD相机）组成，相机成像用于美利体育登录入口官网衍射电子的介质（如荧光屏或YAG晶体）。EBSD图案在美利体育登录入口官网介质上形成，通过相机成像并传输到计算机。 |
| 索引软件 | 能够可靠地索引EBSD图案以确定晶体取向的软件。计算机和软件应能够快速从EBSD图案收集取向数据。 |
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