美利体育登录入口官网:GB/T 29852-2013
光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
Test method for measuring phosphorus, arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
GBT29852-2013, GB29852-2013
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- 标准号
- GB/T 29852-2013
- 别名
- GBT29852-2013, GB29852-2013
- 发布
- 2013年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 7页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 29852-2013
- 本体
- 铟
- 适用范围
- 本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于 1×1014atoms/cm3。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 二次離子質譬儀(SIMS) Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) | 一种用于表面分析的精密仪器，通过美利体育登录入口官网二次离子来确定样品的组成。 |
美利体育登录入口官网: GB/T 29852-2013 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 扇形磁场二次离子质谱仪 能美利体育登录入口官网负二次离子的电子倍增器和法拉第杯美利体育登录入口官网器，质量分辨率优于4000。 | 用于高真空条件下的样品分析，具有高灵敏度。 |
| 液氮或者液氨冷却装置 | 保持分析室的低温环境，减少背景干扰。 |