美利体育登录入口官网:BS EN ISO 14644-10:2013
洁净室和相关控制环境.通过化学浓缩进行表面清洁度分类
Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of surface cleanliness by chemical concentration
2022-07
- 标准号
- BS EN ISO 14644-10:2013
- 发布
- 2013年
- 国际标准分类(ICS)
- 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境
- 总页数
- 40页
- 发布单位
- 英国标准学会
- 替代标准
- BS EN ISO 14644-10:2022
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-10:2022
- 引用标准
- ISO 14644-6
- 本体
- 表面清洁度
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分根据化学化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）的存在定义了洁净室表面洁净度的分类系统。 ISO 14644 的此部分适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、美利体育官网首页网址和装置。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 空气洁净度（按化学浓度） air cleanliness by chemical concentration | 以ISO Class N表示的最大允许化学物质浓度，单位为克每立方米(g/m3) |
| 污染物类别 contaminant category | 具有特定有害影响的化合物组的通用名称 |
| 化学污染 chemical contamination | 可能对产品、工艺或美利体育官网首页网址产生有害影响的非颗粒物质 |
美利体育登录入口官网: BS EN ISO 14644-10:2013 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 测尘仪 激光粒子计数器 | 用于测量空气中的颗粒浓度 |
| 表面美利体育登录入口官网 离子迁移光谱仪 | 用于美利体育登录入口官网表面化学污染物 |