美利体育登录入口官网:DIN EN 62047-13:2012
半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012
- 标准号
- DIN EN 62047-13:2012
- 发布
- 2012年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.01 半导体器分立件综合 31.220.01 机电元件综合
- 总页数
- 17页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-13:2012-10
- 当前最新
- DIN EN 62047-13:2012-10
- 引用标准
- IEC 62047-2-2006
- 本体
- 微机电系统 粘附强度
- 适用范围
- 本文件规定了在微米范围内结构元件与衬底之间粘附强度的测试方法，该方法使用圆柱形微试样。本文件可用于测量在衬底上制备的结构宽度或厚度为 1 ?m 至 1 mm 的微结构的粘附强度。微机电系统（MEMS）的结构元件是在层压的精细结构层上构建的，这些层是通过气相沉积、电镀和/或光刻涂层制造的。MEMS 组件具有大量不同材料之间的界面，在制造或运行过程中可能会发生分层。界面处的材料组合决定了粘附强度；此外，与工艺条件相关的界面附近的缺陷和机械残余应力对粘附强度有强烈影响。本文件规定了一种测试微米范围内结构元件粘附强度的方法，以选择 MEMS 组件的最佳材料和工艺条件。根据本文件，对试样材料、试样尺寸和测试美利体育官网首页网址的性能没有限制，因为 MEMS 组件的材料和尺寸差异很大，且微米级材料的测试美利体育官网首页网址尚未普遍规定。
美利体育登录入口官网: DIN EN 62047-13:2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 力传感器 分辨率足以确保测量偏差不超过粘附强度测量值的 5% | 用于测量施加在微试样上的力，需根据载荷方向进行设置，且测量刃口需位于其有效测量范围内。 |
| 定位系统 精密定位系统 | 用于将微试样和加载装置正确对准，确保位移或力沿正确方向施加的系统。 |
| 测试美利体育官网首页网址 包含致动器、力传感器、控制单元、定位系统和记录装置 | 用于在微观尺度上施加位移或力，并测量分层力的美利体育官网首页网址，需具备恒定速度控制和高精度定位功能。 |
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