美利体育登录入口官网:DIN EN 60749-7:2012
半导体器件.机械和气候试验方法.第7部分:内部水分含量测量和其他残留气体分析
Semiconductor devices - Mechanical and climatic test methods - Part 7: Internal moisture content measurement and the analysis of other residual gases (IEC 60749-7:2011); German version EN 60749-7:2011
- 标准号
- DIN EN 60749-7:2012
- 发布
- 2012年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.01 半导体器分立件综合
- 总页数
- 12页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 60749-7:2012-02
- 当前最新
- DIN EN 60749-7:2012-02
- 引用标准
- IEC 60749-8
- 被代替标准
- DIN EN 60749-7:2003 DIN EN 60749-7:2009
- 本体
- 气密性
- 适用范围
- 本文件规定了具有气密性金属或陶瓷外壳的元件内部大气中水蒸气和其他气体含量的测量和测试。该测试用作气密性过程质量的一个特征，并提供有关外壳内部大气化学长期稳定性的信息。该方法适用于所有采用此类外壳技术的半导体元件，但通常仅用于高可靠性应用，如军事和航空航天领域。该测试方法为破坏性测试。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 体积百万分比 parts per million by volume | 一种物质在另一种物质中的浓度，表示为每百万份另一种物质中所含该物质的份数，以体积分数计量。 |
美利体育登录入口官网: DIN EN 60749-7:2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 压力传感器 需安装在传输通道中 | 用于测量元件打开时传输通道内的压力升高，以评估相对气体量。 |
| 点刺工具 尖锐，可通过外部波纹管操作 | 用于在真空室或传输通道中刺穿元件外壳，释放内部气体而不破坏真空或外壳密封材料。 |
| 真空室 需配备真空传输通道，能保持元件温度在100°C±5°C至少10分钟 | 用于容纳待测元件和传输通道，将气体从元件传输至质谱仪离子源的装置。 |
| 质谱仪 需具备1至100原子质量单位（AMU）的显示范围，美利体育登录入口官网限需满足特定信噪比要求 | 用于测量元件内部大气中水蒸气含量及其他残留气体成分的仪器，需通过年度校准和日常检查。 |
| 露点湿度计 测量偏差需小于±0.2°C | 用于校准质谱仪系统，通过测量露点温度来计算气体中的水分浓度。 |
