美利体育登录入口官网:AS ISO 18115:2006
表面化学分析．词汇
Surface chemical analysis - Vocabulary
- 标准号
- AS ISO 18115:2006
- 发布
- 2006年
- 国际标准分类(ICS)
- 01.040.71 化工技术 (词汇) 71.040.40 化学分析
- 总页数
- 80页
- 发布单位
- 澳大利亚标准协会
- 当前最新
- AS ISO 18115:2006
- 引用标准
- IEC 60050-111:1996 ISO 18115:2001 ISO 31-10:1992
- 本体
- 俄歇电子能谱 表面化学分析
- 适用范围
- 采用 ISO 18115:2001 定义表面化学分析技术中使用的术语。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 俄歇电子能谱 Auger electron spectroscopy | 一种使用电子能谱仪测量从表面发射的俄歇电子能量分布的方法。 |
| 动态二次离子质谱 dynamic SIMS | 在分析过程中，材料表面以足够快的速率被溅射，以至于原始表面不能被看作未受损的二次离子质谱。 |
| 俄歇电子 Auger electron | 在俄歇过程中从原子发射出的电子。 |
| 俄歇参数 Auger parameter | 光谱中窄俄歇电子峰的动能减去同一元素的最强光电子峰的动能。 |
| 俄歇跃迁 Auger transition | 涉及指定电子壳层或亚壳层的俄歇过程。 |
| 衰减长度 attenuation length | 在极限情况下，平行束中指定粒子或辐射穿过物质薄层Dx时被移除的分数，其中Dx沿束方向测量。 |
| 分析面积 analysis area | 从样品表面测量的二维区域，在该平面内美利体育登录入口官网到整个分析信号或指定百分比的信号。 |
| 溅射深度剖面 sputter depth profile | 在通过溅射去除材料时测量表面成分所获得的成分深度剖面。 |
| 俄歇去激发 Auger de-excitation | 激发原子或离子的能量通过非辐射的电子重排而释放的过程。 |
| 俄歇中性化 Auger neutralization | 来自固体导带的电子隧穿中和入射离子，并从表面原子发射出电子的过程。 |
| 俄歇参数，初态 Auger parameter, initial state | b，其中b = 3EB + EK，EB和EK分别是光电子峰的结合能和费米能级参考的俄歇电子峰的动能。 |
| 俄歇参数，修正 Auger parameter, modified | 光谱中窄俄歇电子峰的费米能级参考动能与同一元素最强光电子峰的结合能之和。 |
| 俄歇过程，原子间 Auger process, interatomic | 俄歇跃迁，其中至少一个最终电子空穴局域在与初始空穴所在原子相邻的原子价层或分子轨道中。 |
| 俄歇跃迁率 Auger transition rate | 俄歇过程的概率与时间的商。 |
| 非弹性背景 background, inelastic | 原本处于一种能量的粒子由于一个或多个非弹性散射过程而以较低能量发射出的强度分布。 |
| 仪器背景 background, instrumental | 通常不需要的强度贡献，源于仪器一个或多个部件的非理想行为。 |
| 谢利背景 background, Shirley | 计算出的背景，以拟合感兴趣峰的高能和低能动能能量点的测量光谱，使得给定动能处的背景贡献与高于该背景的高能总峰面积成固定比例。 |
| 西卡福斯背景 background, Sickafus | 设计用于描述二次电子级联强度随电子发射动能变化的单幂律背景。 |
| 图加德背景 background, Tougaard | 基于非弹性散射微分截面与表面区域发射原子三维分布的模型获得的强度分布。 |
| 背散射电子 backscattered electron | 源自入射束并在与样品相互作用后发射出的电子。 |
| 背散射系数 backscattering coefficient | 在背散射能量区间内美利体育登录入口官网到的粒子数与该区间及入射离子数的商。 |
美利体育登录入口官网: AS ISO 18115:2006 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 俄歇电子能谱仪 无特定型号 | 用于测量从表面发射的俄歇电子能量分布的专用仪器。 |
| 电子能谱仪 无特定型号 | 用于测量电子动能分布的装置，是俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的核心部件。 |
| 质谱仪 无特定型号 | 用于测量从样品发射出的二次离子的质荷比和丰度的装置，用于二次离子质谱等方法。 |
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