美利体育登录入口官网:GB/T 14144-2009
硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
GBT14144-2009, GB14144-2009
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- 标准号
- GB/T 14144-2009
- 别名
- GBT14144-2009, GB14144-2009
- 发布
- 2009年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 9页
- 采用标准
- SEMI MF 1188-1105 MOD
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 14144-2009
- 引用标准
- GB/T 14264-2009 GB/T 1557-2006
- 被代替标准
- GB/T 14144-1993
- 本体
- 红外光谱法
- 适用范围
- 本标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含量径向的变化。本标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准美利体育官网首页网址的标准样品。
本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×10
at?cm 至硅晶体中间隙氧的最大固溶度。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 散射型红外光谱仪 depressive infrared spectrophotometer | 一种使用棱镜或光栅作为色散元件的红外光谱仪，通过振幅波数（或波长）光谱图获取数据。 |
| 傅立叶变换红外光谱仪 Fourier transform infrared spectrophotometer | 一种通过傅立叶变换将由干涉仪得到的干涉谱转换为振幅一波数（或波长）光谱图来获取数据的红外光谱仪。 |
| 比对光谱 reference spectrum | 参比样品的光谱，在测量中用于扣除背景光谱的影响。 |
| 样品光谱 sample spectrum | 测试样品的光谱，通过减去背景光谱获得。 |
美利体育登录入口官网: GB/T 14144-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 红外光谱仪 | 用于测量物质的红外吸收特性，包括散射型和傅立叶变换型两种类型。 |
