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美利体育登录入口官网:GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photolumininescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities

GBT24574-2009, GB24574-2009

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 24574-2009
别名
GBT24574-2009, GB24574-2009
发布
2009年
国际标准分类(ICS)
29.045 半导体材料   
总页数
12页
采用标准
SEMI MF 1389-0704 MOD
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 24574-2009
 
 
引用标准
GB/T 13389 GB/T 24581
 
 
本体
单晶硅
适用范围
本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 本标准用于美利体育登录入口官网单晶硅中含量为1×lO at?cm ~5×10 at?cm 的各种电活性杂质元素。
术语描述
缺陷光荧光谱线
defect luminescence lines
由硅中缺陷产生的特征吸收。
电子空位液滴
electron hole droplet (EHD)
由光激励生成的激子气体的冷凝相(液体)。
激子
excitons
是由一个空位晶格(自由激子)或杂质原子点(束缚激子)结合在一起的能发光的电子空穴对。

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低温恒温器
开式循环液氦浸没、交换气体低温恒温器、闭合制冷系统
用于保持样品测试温度在4.2 K。
红外光谱仪
配有美利体育登录入口官网器,光响应范围在8750 cm??至9300 cm??之间,在9300 cm??处的分辨率为0.5 cm??。
用于测量光致发光谱。
激光器
输出可调,光束直径为2.5 mm。
激发硅单晶产生发射光谱。

高NA CO?激光聚焦物镜

武圆光电 高NA CO?激光聚焦物镜

可调谐染料激光器

煜茗科技 RapidTunePro


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