美利体育登录入口官网:GB/T 6621-2009
硅片表面平整度测试方法
Testing methods for surface flatness of silicon slices
GBT6621-2009, GB6621-2009
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- 标准号
- GB/T 6621-2009
- 别名
- GBT6621-2009
GB6621-2009 - 发布
- 2009年
- ICS
-
29.045
- 总页数
- 6页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 6621-2009
- 被代替标准
- GB/T 6621-1995
本标准规定了用电容位移传感器测定硅抛光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蚀片也可参照此方法。 本标准适用于测量标准直径76mm,100mm,125mm,150mm,200mm,电阻率不大于200Ω?cm厚度不大于1000μm的硅抛光片的表面平整度和直观描述硅片表面的轮廓形貌。
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| 电容位移传感器 | 用于测量硅片表面形貌变化的高精度传感器。 |
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