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本标准规定了测试 104-10I2Ω 范围内的固体平面材料的电阻和电阻率的方法,以防止静电电荷积聚。它考虑了现有的 ISO/IEC 标准和其他已发布的信息,并提供了有关适当方法的建议和指导。注:本标准对应的国际标准如下所示。根据ISO/IEC Guide 21,表示对应程度的符号有IDT(匹配)、MOD(修改)、NEQ(非等效)。
| 体积电阻测试夹具 包含 1.0 x 10^12 Ω ±5% 电阻器 | 用于验证体积电阻测量系统高阻范围的装置。 |
| 安培表 量程至少从 10 pA 到 10 mA,精度±5% | 用于测量通过试样的电流,当欧姆表无电流读数功能时使用。 |
| 欧姆表 集成仪器,读数范围至少从 1x10^3 Ω 到 1x10^13 Ω | 用于直接测量电阻的集成仪器。 |
| 直流电源 开路电压 100V ±5%(测量 1x10^6 Ω及以上)或 10V ±5%(测量小于 1x10^6 Ω) | 用于提供测试所需的直流电压。 |
| 表面电阻测试夹具 包含 20 个 10 MΩ ±1% 电阻器,符合 8.2.1 电极尺寸 | 用于验证表面电阻测量系统低阻范围的装置。 |
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