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美利体育登录入口官网:GB/T 19403.1-2003
半导体器件 集成电路 第11部分;第1篇:半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)

Semiconductor Devices Integrated Circuits Part11:Section 1:Internal visual examination for semiconductor integrated circuits(excluding hybrid circuits)

GBT19403.1-2003, GB19403.1-2003

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 19403.1-2003
别名
GBT19403.1-2003, GB19403.1-2003
发布
2003年
国际标准分类(ICS)
31.200 集成电路、微电子学   
总页数
22页
采用标准
IEC 60748-11-1:1992 IDT
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 19403.1-2003
 
 
适用范围
进行内部目检的目的是检验集成电路的内部材料、结构和工艺,验证与适用的规范要求的一致性。 通常应在封帽或密封之前对器件进行100%内部目检。以发现可能导致器件在正常使用时失效的内部缺陷并剔除相应器件。本试验也可按抽样方式在封帽之前使用,以确定承制方对半导体器件质量控制和操作程序的有效性。
术语描述
有源电路区
Active Circuit Area
包括各种功能电路元件、工作金属化层及其相连的集合(除梁式引线以外) 的全部区域。
受控环境
Controlled Environment
空气洁净度等级为3.5级的环境,通常在惰性气体环境中使用,相对湿度不超过 5%。
扩散岛
Diffusion Pads
由绝缘材料包围的P或N型半导体材料的隔离区。

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具有规定的放大倍率
用于半导体器件内部结构的目视检查,通常包括显微镜等工具。
夹具

合适固定器件且不引起器件损伤
在检查期间固定器件的装置,确保检查过程中的稳定性。

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