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进行内部目检的目的是检验集成电路的内部材料、结构和工艺,验证与适用的规范要求的一致性。 通常应在封帽或密封之前对器件进行100%内部目检。以发现可能导致器件在正常使用时失效的内部缺陷并剔除相应器件。本试验也可按抽样方式在封帽之前使用,以确定承制方对半导体器件质量控制和操作程序的有效性。
| 光学美利体育官网首页网址 具有规定的放大倍率 | 用于半导体器件内部结构的目视检查,通常包括显微镜等工具。 |
| 夹具 合适固定器件且不引起器件损伤 | 在检查期间固定器件的装置,确保检查过程中的稳定性。 |
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