美利体育登录入口官网:DIN EN 60749-8:2003
半导体器件.机械和气候试验方法.第8部分:密封
Semiconductor devices - Mechanical and climatic test methods - Part 8: Sealing (IEC 60749-8:2002 + Corr. 1:2003 + Corr. 2:2003); German version EN 60749-8:2003
- 标准号
- DIN EN 60749-8:2003
- 发布
- 2003年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.01 半导体器分立件综合
- 总页数
- 16页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 60749-8:2003-12
- 当前最新
- DIN EN 60749-8:2003-12
- 引用标准
- IEC 60068-2-17:1994
- 被代替标准
- DIN EN 60749:2002
- 本体
- 泄漏率
- 适用范围
- 该项目适用于半导体器件（分立器件和集成电路）。 该测试方法的目的是确定半导体器件的泄漏率。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 标准泄漏率 Standard leak rate | 定义为在 25°C 下，1 cm? 空间通过泄漏路径每秒流动的干燥空气量，当高压侧压力为 10? Pa，低压侧压力为 10? Pa 时。单位为 Pa × cm?/s (bar × cm?/s)。 |
| 实测泄漏率 Measured leak rate | 定义为在特定条件下，使用特定测量介质对特定外壳测得的泄漏率。单位为 Pa × cm?/s (bar × cm?/s)。 |
| 等效标准泄漏率 Equivalent standard leak rate | 定义为具有相同泄漏几何形状的外壳在标准条件下（见 3.2）产生的泄漏率。单位为 Pa × cm?/s (bar × cm?/s)。 |
美利体育登录入口官网: DIN EN 60749-8:2003 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 分析天平 精度最高 0.1 mg | 用于质量称重法美利体育登录入口官网大泄漏率，通过测量器件吸入流体后的质量变化。 |
| 质谱仪 用于氦气检漏 | 用于美利体育登录入口官网小泄漏率的美利体育官网首页网址，通过测量氦气泄漏量来评估密封性。 |
| 闪烁计数器 用于氪-85 美利体育登录入口官网 | 用于测量放射性氪气在器件内部浓度的美利体育官网首页网址，用于细漏美利体育登录入口官网。 |