美利体育登录入口官网:ISO 5302:2003
真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics
- 标准号
- ISO 5302:2003
- 发布
- 2003年
- 国际标准分类(ICS)
- 23.160 真空技术
- 总页数
- 20页
- 中文版
- GB/T 7774-2007 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 5302:2003
- 引用标准
- ISO 3529-2
- 本体
- 压缩比 涡轮分子泵
- 适用范围
- 本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法，它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括： a) 带机械或磁轴承的； b) 带或不带附加牵引级的。 注：由于涡轮分子泵需要前级泵支持，下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充，以完全确定其性能： 一流量曲线； 一——压缩比曲线； 人口压力变化曲线。 包括全部有关区域和各种气体。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 临界背压 critical backing pressure | 泵仍具有压缩率 p2/p1 ≥ 2 且 purge 气体流动开启时的最大背压 p2。 |
| 最大抽气量 maximum throughput | 泵可连续抽送而不损坏或破坏的最大气体负荷，单位为帕斯卡·升/秒 (Pa·l/s) 或毫巴·升/秒 (mbar·l/s)。 |
| 抽速 volume flow rate | 在理想条件下，单位时间内从测试腔通过泵入口流出的气体体积。 |
| 极限压力 ultimate pressure | 测试腔压力趋近的渐近值，即泵能达到的最低压力。 |
| 最小操作压力 minimum operational pressure | 在烘烤程序后 48 小时在测试腔内获得的压力。 |
| 压缩比 compression ratio | 涡轮分子泵的背压 p2 与入口压力 p1 之比，Keff = p2/p1。 |
| 最大工作压力 maximum working pressure | 涡轮分子泵及其驱动装置在不损坏的情况下可承受的最高入口侧压力。 |
美利体育登录入口官网: ISO 5302:2003 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 真空计 校准精度在 10^-4 Pa 以上为 5%，以下为 10% | 用于测量总压力的仪器，需校准，推荐测试后与参考真空计比对。 |
| 分压气体美利体育登录入口官网 质量范围 1 至 100，具有足够的分辨力 | 用于测量入口压力的分压气体美利体育登录入口官网，可补充总压力测量。 |
| 测试腔 根据泵入口法兰直径选择，直径小于 DN100 时对应 DN100，需配备烘烤装置 | 用于测量抽速的测试容器，分为抽气量法（入口压力>10^-4 Pa）和标准导纳法（入口压力<10^-4 Pa）两种类型。 |
| 背压泵 根据泵规格选择，抽速需满足特定条件 | 用于支撑涡轮分子泵的初级泵，其抽速影响涡轮分子泵的实际抽速。 |
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关于涡轮分子泵的性能介绍
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关于涡轮分子真空泵的基本介绍
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