美利体育登录入口官网:ISO 5302:2003
真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量
Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics
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- 标准号
- ISO 5302:2003
- 发布
- 2003年
- ICS
-
23.160
- 总页数
- 20页
- 中文版
- GB/T 7774-2007 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 5302:2003
- 引用标准
- ISO 3529-2
- 本体
- 压缩比 涡轮分子泵
本标准规定了涡轮分子泵性能参数的测量方法，它适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。 包括： a) 带机械或磁轴承的； b) 带或不带附加牵引级的。 注：由于涡轮分子泵需要前级泵支持，下列曲线将作为对体积流率—人口压力的曲线补充，以完全确定其性能： 一流量曲线； 一——压缩比曲线； ...
美利体育登录入口官网: ISO 5302:2003 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 真空计 校准精度在 10^-4 Pa 以上为 5%，以下为 10% | 用于测量总压力的仪器，需校准，推荐测试后与参考真空计比对。 |
| 分压气体美利体育登录入口官网 质量范围 1 至 100，具有足够的分辨力 | 用于测量入口压力的分压气体美利体育登录入口官网，可补充总压力测量。 |
| 测试腔 根据泵入口法兰直径选择，直径小于 DN100 时对应 DN100，需配备烘烤装置 | 用于测量抽速的测试容器，分为抽气量法（入口压力>10^-4 Pa）和标准导纳法（入口压力<10^-4 Pa）两种类型。 |
| 背压泵 根据泵规格选择，抽速需满足特定条件 | 用于支撑涡轮分子泵的初级泵，其抽速影响涡轮分子泵的实际抽速。 |
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关于涡轮分子泵的性能介绍
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关于涡轮分子真空泵的基本介绍
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