| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 更衣室 Changing room | 人员可以穿脱洁净服的空间。 |
| 洁净室美利体育官网首页网址 Cleanroom equipment | 独立美利体育官网首页网址,用于处理和分配洁净空气,旨在实现特定的环境条件。 |
| 洁净度 Cleanliness | 产品、表面、美利体育官网首页网址、气体、流体等具有规定程度污染的状态。 |
| 启动 Start-up | 有计划、有记录的检查、调整和测试系列,旨在按预定要求正确地将设施投入运行。 |
| 污染 Contamination | 任何可能对产品或工艺产生不利影响的颗粒状、分子状、非颗粒状或生物单元。 |
| 湍流稀释流 Turbulent dilution flow | 空气分布方式,其中进入洁净区的初级空气通过诱导与室内混合。 |
| 颗粒 Particle | 具有物理定义边界的小块物质。 |
| 预过滤器 Pre-filter | 安装在另一个过滤器上游的过滤器,用于减少其负载。 |
| 核心区域 Core area | 进行工艺并发生工艺与环境相互作用的区域。 |
| 首次启动 First start-up | 包括所有系统在内的设施的准备和启动。 |
| 低湍流置换流 Low-turbulence displacement flow | 受控的空气流,在整个洁净区横截面上具有均匀的速度和近乎平行的流线。 |
| 吸尘系统 便携式或嵌入式 | 用于在定期清洁过程中去除颗粒污染,以及有效去除无法在洁净室外进行的作业产生的污染。 |
| 洁净室美利体育官网首页网址 独立美利体育官网首页网址 | 用于处理和分配洁净空气,旨在实现特定的环境条件。 |
| 高效空气过滤器 HEPA 和 ULPA | 用于空气过滤系统,包括过滤器元件、框架、外壳、密封件等,需根据洁净度等级选择。 |
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