| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 颗粒浓度 particle concentration | 单位体积空气中的单个颗粒数量。 |
| 颗粒尺寸分布 particle size distribution | 颗粒浓度随颗粒尺寸变化的累积分布。 |
| 超细颗粒 ultrafine particle | 等效直径小于0.1 ?m的颗粒。 |
| 大颗粒 macroparticle | 等效直径大于5 ?m的颗粒。 |
| 纤维 fibre | 纵横比(长度与宽度之比)为10或更大的颗粒。 |
| U描述符 U descriptor | 每立方米空气中颗粒的测量或指定浓度,包括超细颗粒。注:U描述符可视为采样位置平均值的上限(或根据用于表征洁净室或洁净区的采样位置数量,视为上限置信限)。U描述符不能用于定义空气颗粒洁净度等级,但可以独立或与空气颗粒洁净度等级一起引用。 |
| M描述符 M descriptor | 每立方米空气中大颗粒的测量或指定浓度,以所用测量方法特征等效直径表示。注:M描述符可视为采样位置平均值的上限(或根据用于表征洁净室或洁净区的采样位置数量,视为上限置信限)。M描述符不能用于定义空气颗粒洁净度等级,但可以独立或与空气颗粒洁净度等级一起引用。 |
| 已安装状态 as-built | 安装已完成,所有服务已连接并运行,但没有生产美利体育官网首页网址、材料或人员存在的状态。 |
| 静态 at-rest | 安装已完成,美利体育官网首页网址已安装并按客户和供应商商定的方式运行,但没有人员存在的状态。 |
| 运行状态 operational | 安装按指定方式运行,有指定数量的人员存在并按商定的方式工作。 |
| 客户 customer | 负责指定洁净室或洁净区要求的组织或其代理人。 |
| 供应商 supplier | 致力于满足洁净室或洁净区指定要求的组织。 |
| 洁净室 cleanroom | 空气中颗粒浓度受控的房间,其构造和使用方式旨在最小化颗粒的引入、产生和滞留,并受控其他相关参数(如温度、湿度和压力)。 |
| 洁净区 clean zone | 空气中颗粒浓度受控的专用空间,其构造和使用方式旨在最小化颗粒的引入、产生和滞留,并受控其他相关参数(如温度、湿度和压力)。该区域可以是开放的或封闭的,可以位于洁净室内,也可以不位于洁净室内。 |
| 安装 installation | 洁净室或一个或多个洁净区,连同所有相关结构、空气处理系统、服务和公用设施。 |
| 分类 classification | 适用于洁净室或洁净区的空气颗粒洁净度水平(或指定或确定该水平的过程),以ISO等级N表示,代表所考虑颗粒尺寸的最大允许浓度(每立方米空气中的颗粒数)。 |
| 颗粒 particle | 对于空气洁净度分类目的而言,落在基于阈值(下限)尺寸范围从0.1 ?m至5 ?m的累积分布内的固体或液体物体。 |
| 颗粒尺寸 particle size | 产生与待测颗粒响应等效响应的球体直径,由给定的颗粒尺寸测量仪器产生。注:对于离散颗粒计数、光散射仪器,使用等效光学直径。 |
| 离散颗粒计数、光散射仪器 | 用于确定指定采样位置处等于或大于指定尺寸的空气中颗粒浓度的美利体育官网首页网址,具有显示或记录空气中离散颗粒计数和尺寸的手段,并具备美利体育登录入口官网适当颗粒尺寸范围内总颗粒浓度的能力。 |
Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-05-25 18:19