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美利体育登录入口官网:GOST R 8.630-2007
国家测量统一性保证体系.原子能扫描探测显微镜.验证方法

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification


标准号
GOST R 8.630-2007
发布
2007年
国际标准分类(ICS)
17.040.01 长度和角度测量综合   
总页数
18页
发布单位
俄罗斯标准局
当前最新
GOST R 8.630-2007
 
 
引用标准
GOST 12.2.061-1981 GOST ISO 14644-1-2002 GOST R 8.628-2007 GOST R 8.629-2007 GOST R ISO 14644-2-2001 GOST R ISO 14644-5-2005
 
 
本体
像素
适用范围
本标准适用于测量 10?? 至 10?? 米范围内线性尺寸的扫描探针原子力显微镜(以下简称显微镜),并根据 GOST R 8.628 和 GOST R 8.629 规定,采用测量方法对其进行初始和定期验证。
术语描述
固体表面轮廓
Relief of a Solid
固体表面的轮廓,其偏离理想平面的程度是由自然原因或特殊加工引起的。
轮廓元素
Relief Element
表面轮廓的空间局部化部分。
扫描
Scanning
针尖沿选定段扫描被测物体,同时记录信息信号的过程。
显微镜屏幕图像
Video Image
显微镜监视器屏幕上显示的图像,表现为由p行每行m个像素组成的矩阵,其亮度与相应矩阵点信号的强度成正比。
信息信号视频轮廓
Video Profile of Information Signal
从显微镜美利体育登录入口官网器接收的信息信号值与视频图像行中像素编号之间的图形依赖关系。
缩放系数
Scale Factor
被测对象上被测元素长度值与视频图像上该元素像素数量的比值。
有效针尖半径
Effective Tip Radius
表征显微镜探针尖端几何尺寸的球体半径。
Z-扫描器
Z-Scanner
扫描探针原子力显微镜中的一个装置,可在扫描过程中保持探针的垂直位置,并确保探针尖端与被测物体表面之间保持恒定距离。

美利体育登录入口官网: GOST R 8.630-2007 中提到的仪器美利体育官网首页网址

扫描探针原子力显微镜

用于测量10??至10??米范围内的线性尺寸
被测对象,具有标准化的计量特性。
辅助光学显微镜

放大倍数不小于400
用于探针定位的辅助美利体育官网首页网址,在验证过程中用于观察。

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