| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 更衣室 changing room | 洁净室人员可以穿上或脱下洁净室服装的房间。 |
| 洁净空气装置 clean air device | 用于处理和分配洁净空气以实现规定环境条件的独立美利体育官网首页网址。 |
| 洁净度 cleanliness | 产品、表面、美利体育官网首页网址、气体、流体等具有规定污染水平的状态。 |
| 调试 commissioning | 系统性地进行的计划并记录的检查、调整和测试系列,以使安装按照规定的技术条件投入正确运行。 |
| 污染物 contaminant | 任何可能对产品或工艺产生不利影响的颗粒、分子、非颗:蜕锸堤。 |
| 非单向流 non-unidirectional airflow | 进入洁净区的气流通过诱导作用与内部空气混合的气流分布方式。 |
| 颗粒 particle | 具有规定物理边界的微小物质块。 |
| 预过滤器 pre-filter | 安装在另一个过滤器上游的过滤器,以减少对该过滤器的挑战。 |
| 工艺核心 process core | 工艺发生以及工艺与环境相互作用的场所。 |
| 启动 start-up | 准备并将安装投入活跃服务的行为,包括所有系统。 |
| 单向流 unidirectional airflow | 通过洁净区整个截面的受控气流,具有稳定的速度和大致平行的流线。 |
| 洁净空气装置 独立美利体育官网首页网址 | 用于处理和分配洁净空气以实现规定环境条件的独立美利体育官网首页网址。 |
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