| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 洁净室 Cleanroom | 对空气中粒子数量浓度进行控制和分类的空间,该空间在结构上经过规划、建造和运行,以控制粒子的带入、产生和沉积。 |
| 洁净区 Clean zone | 规定区域,在该区域内对空气中粒子的浓度进行控制和分类,并且该区域在结构上经过建造和运行,以控制区域内粒子的带入、产生和沉积。 |
| 洁净度测试方法 Test method for air cleanliness | 用于评估洁净室或洁净区洁净度的方法。 |
| 粒子 Particle | 具有物理定义边界的微小物质颗粒。 |
| 等效直径 Equivalent diameter | 可以使用粒径测定装置测量的球形直径,该装置的测量值与粒子的测量值具有可比关系。 |
| 数浓度 Number concentration | 单位体积空气中单个粒子的数量。 |
| 累计频率分布 Cumulative frequency distribution | 表示为粒子尺寸函数的粒子浓度累计频率分布。 |
| 大粒子 Macroparticles | 等效直径大于 5 ?m 的粒子。 |
| M-描述符 M-descriptor | 用于描述每立方米空气中测量的或规定的基于等效直径的大粒子浓度的术语,该等效直径是所用测量方法的特征。 |
| 单向流 Unidirectional air flow | 在洁净室或洁净区的整个横截面上速度均匀的受控气流,被视为平行气流。 |
| 乱流稀释流 Turbulent air flow | 非单向气流,即进入洁净室或洁净区的一次气流通过感应与室内空气混合的气流分布。 |
| 交付状态 As delivered | 完全连接并处于运行状态的洁净室或洁净区的状态,但不包括生产美利体育官网首页网址、美利体育官网首页网址和人员。 |
| 静态 At rest | 完全配置并按约定运行的洁净室或洁净区的状态,但不包括人员。 |
| 动态 Operational state | 按预定运行方式运行、美利体育官网首页网址处于运行状态且有预定数量人员的洁净室或洁净区的商定状态。 |
| 分辨率 Resolution | 测量值中最小的变化,导致相应读数的可察觉变化。 |
| 最大允许误差 Maximum permissible error | 相对于已知参考值,根据规定或规范对特定测量、给定测量仪器或测量系统允许测量的偏差的极限值。 |
| 光散射单粒子计数器 Light scattering (discrete) airborne particle counter | 能够计数单个空气粒子并确定其大。⒁怨庋У刃е本妒涑龃笮∈莸囊瞧。 |
| 大粒子单计数器 Macroparticle counter | 能够计数单个空气大粒子并确定其大小的仪器。 |
| 粒子沉降时间测量仪 Particle deposition time measurement device | 用于单粒子计数和大小测定的仪器,通过测量粒子适应气流速度变化所需的时间来确定粒子的空气动力学直径。 |
| 光散射单粒子计数器 LSAPC (Light scattering (discrete) airborne particle counter) | 能够计数单个空气粒子并确定其大。⒁怨庋У刃е本妒涑龃笮∈莸囊瞧。规格见 ISO 21501-4:2007。 |
| 大粒子单计数器 N/A | 能够计数单个空气大粒子并确定其大小的仪器。 |
| 粒子沉降时间测量仪 N/A | 用于单粒子计数和大小测定的仪器,通过测量粒子适应气流速度变化所需的时间来确定粒子的空气动力学直径。 |
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