| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 体积流量(排气速度) Volume rate of flow; Pumping speed | 通过泵吸入口的气体体积流量。 |
| 试验圆筒(试验室) Test dome; Test header | 用于连接泵和测量装置,以进行性能试验的容器或管道部分。 |
| 极限压力 Ultimate pressure | 泵在规定的试验条件下,仅依靠自身工作所能达到的最低压力。 |
| 真空计 符合 JIS Z 8750 规定的校正方法 | 用于测量系统内压力的仪器,需经过校正以确保测量精度。 |
| 流量测定装置 根据测量范围选择,精度要求:9.9×10^-7 Pa·m?/s 以下±3%,9.9×10^-7~9.9×10^-6 Pa·m?/s 以下±5%,10 Pa·m?/s 以下±10% | 用于测定通过泵的气体流量或排气速度的装置。 |
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