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本标准规定了注汽真空泵抽速的测量方法。
| 术语 | |
|---|---|
| 体积流量(排气速度) | Volume rate of flow; Pumping speed |
| 试验圆筒(试验室) | Test dome; Test header |
| 极限压力 | Ultimate pressure |
| 真空计 符合 JIS Z 8750 规定的校正方法 | 用于测量系统内压力的仪器,需经过校正以确保测量精度。 |
| 流量测定装置 根据测量范围选择,精度要求:9.9×10^-7 Pa·m?/s 以下±3%,9.9×10^-7~9.9×10^-6 Pa·m?/s 以下±5%,10 Pa·m?/s 以下±10% | 用于测定通过泵的气体流量或排气速度的装置。 |
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