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美利体育登录入口官网:JIS K 0132:1997
扫描电子显微镜总则

General rules for scanning electron microscopy

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标准号
JIS K 0132:1997
发布
1997年
国际标准分类(ICS)
37.020 光学美利体育官网首页网址   
总页数
21页
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS K 0132:1997
 
 
引用标准
JIS K 0050
 
 
本体
扫描电子显微镜
适用范围
本标准规定了使用扫描电子显微镜主要利用二次电子来观察和分析样品表面显微区域形貌时的一般事项。
术语描述
扫描电子显微镜
scanning electron microscope
通过电子探针在试样表面二维扫描,利用从试样获得的二次电子形成放大图像的基本功能的显微镜
电子探针
electron probe
从电子枪单元发射的初级电子束,通过透镜聚焦成直径几微米到10纳米或更小的电子束,照射到试样上
试样
specimen
作为观察或分析目标的物质
发射器
emitter
发射电子的物质
初级电子
primary electron
从发射器发射并照射到试样上的电子
散射电子
scattered electron
当电子探针将电子照射到试样上时,向前或向后散射的电子
二次电子
secondary electron
当电子照射到试样上时,从试样发射出的电子中动能较低的部分,通常具有10eV或更低的动能

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扫描电子显微镜
由电子枪单元、透镜部分、偏转扫描装置、试样室·试样台、美利体育登录入口官网器装置、排气装置、电源·控制部分和信号处理·图像表达部分组成

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