美利体育登录入口官网:DIN 50452-1:1995
半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles
- 标准号
- DIN 50452-1:1995
- 发布
- 1995年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 4页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50452-1:1995-11
- 当前最新
- DIN 50452-1:1995-11
- 引用标准
- ISO 4407:1991
- 被代替标准
- DIN 50452-1:1988
- 本体
- 有效过滤面积 颗粒尺寸
- 适用范围
- 该方法包括通过显微计数测定膜过滤器上分离的液体中颗粒物污染的浓度。范围仅限于5μ及以上的施胶颗粒。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 颗粒尺寸 Particle size | 在本标准中，颗粒尺寸是指颗粒在过滤器表面覆盖的最大线性跨度。颗粒分为五个尺寸范围：5 至 10μm、10 至 25μm、25 至 50μm、50 至 100μm 以及大于 100μm。长宽比大于 10:1 且尺寸大于 100μm 的颗粒被指定为纤维。 |
| 有效过滤面积 Effective filter surface | 有效过滤面积是指在过滤过程中可以承载颗粒的过滤器表面部分。 |
| 测量面积 Measurement surface | 测量面积是指用于颗粒计数的有效过滤器表面部分。 |
| 颗粒浓度 Particle concentration | 对于每个颗粒尺寸范围 x，颗粒浓度是指在 100ml 液体中确定的颗粒数量。 |
美利体育登录入口官网: DIN 50452-1:1995 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 显微镜 配备物镜（5 倍、10 倍、20 倍），机械载物台（x 和 y 方向滑动范围至少 50mm），双目管（或双目照相管，目镜放大倍数 10 倍），测微目镜（线性刻度 100 分度），分划板（1/100 mm 刻度间隔），冷光源（鹅颈灯管），手动计数器 | 用于观察和计数膜过滤器上的颗粒，需配备校准的测微目镜。 |
| 过滤装置 压力容器（带过滤喷枪，膜过滤器最大孔径 1μm），冲洗液，漏斗（容量至少 300ml，上部抛光或 PTFE 密封面，下部开口内径 35mm），下部组件（带烧结盘），弹簧夹，接收瓶（容量至少 1L，带真空泵连接器），量瓶（容量 500ml，刻度间隔 10ml），真空泵，显微镜载玻片（至少 50mm x 75mm），膜过滤器（孔径不超过 1μm，直径 47mm，无网格系统），镊子，安全瓶 | 用于过滤测试液体并制备膜过滤器，所有接触测试液体的部件应耐试剂，表面光洁度应防止颗粒释放。 |