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美利体育登录入口官网:DIN EN ISO 14644-9:2022-01
草案 洁净室和相关受控环境 第9部分：颗粒浓度表面洁净度评估 (ISO/FDIS 14664-9:2021)

Draft Document - Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration (ISO/FDIS 14664-9:2021); German and English version prEN ISO 14664-9:2021

被代替

标准号

DIN EN ISO 14644-9:2022-01

发布

2022年

发布单位

德国标准化学会

替代标准

DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02

当前最新

DIN EN ISO 14644-9:2022-10

 

 

 

 

本体

固液界面 表面颗粒

介绍

该标准草案提供了关于洁净室和相关受控环境中颗粒浓度表面洁净度评估的方法。它详细描述了如何对这些环境中的表面进行清洁度评价，以确保符合特定的卫生或质量要求。

***请参考正式版文本。

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