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美利体育登录入口官网:NF X44-101-9*NF EN ISO 14644-9:2022
洁净室和相关受控环境 第9部分:颗粒浓度的表面洁净度评估

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration


标准号
NF X44-101-9*NF EN ISO 14644-9:2022
发布
2022年
发布单位
法国标准化协会
当前最新
NF X44-101-9*NF EN ISO 14644-9:2022
 
 
 
 
本体
固液界面 表面颗粒
介绍
本文件为洁净室及相关控制环境中颗粒浓度的表面清洁度评价提供了指导。它详细说明了如何确定和测量表面上的颗粒物,以确保环境符合特定的清洁标准。该文档适用于需要高度净化的行业和技术领域,帮助用户了解和实施有效的表面清洁监测方法。

***此介绍可能不准确,请注意参考原文。

术语描述
特定粒径范围描述符
descriptor for specific particle size ranges
表示通过颗粒浓度(SCP)等级在特定粒径范围内表达表面清洁度的描述符
直接测量方法
direct measurement method
未经任何中间步骤的污染评估方法
间接测量方法
indirect measurement method
带有中间步骤的污染评估方法

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