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本部分IEC 62047规定了用于测量基于晶圆曲率(衬底曲率)或悬臂梁曲率的MEMS结构中厚度为0.01 ?m至10 ?m的薄膜残余应力的测试方法。薄膜应沉积在具有已知机械性能的衬底上,特别是杨氏模量和泊松比。这些方法用于确定衬底上薄膜内部的残余应力。
| Lisson-Tretrad-Ger?t (Lisson Tretrad Machine) 根据标准5.1章节描述,包含带半径10mm圆角的试样平台、两个磨损轮总成、吸尘器及20±2kg张力加载装置。 | 核心测试美利体育官网首页网址,用于在恒定重量和滑移条件下对纺织地板进行模拟楼梯踏步磨损的测试。 |
| 电子天平 读数精度为0.01 g | 用于测量测试前后样本质量,以计算质量损失。 |
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