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本文件规定了惰性气体熔融热导法测定硅材料中氢含量的方法。本文件适用于硅材料中氢含量的测定,测定范围为0.05 μg/g~25000 μg/g。
| 氢美利体育登录入口官网 | 由电极炉或感应炉、分析气流杂质去除系统、粉尘净化系统和热导池氢测量系统组成,氢测量精密度优于0.05 μg |
| 电子天平 | 分度值为0.1 mg |
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