美利体育登录入口官网:SJ/T 12217-2026
电子级三氯化铝
Electronic grade aluminium trichloride
SJT12217-2026, SJ12217-2026
2026-12-01
- 标准号
- SJ/T 12217-2026
- 别名
- SJT12217-2026, SJ12217-2026
- 发布
- 2026年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.030 电子技术专用材料
- 总页数
- 11页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 12217-2026
- 引用标准
- GB 12463 GB 15258 GB 15603 GB 190 GB/T 11446.1 GB/T 25915.1 GB/T 32566 GB/T 3723 GB/T 37837 GB/T 6679 SJ/T 11637
- 适用范围
- 本文件规定了电子级三氯化铝产品的技术要求、美利体育登录入口官网方法、检验规则、标志、包装、运输及储存等。本文件适用于半导体行业薄膜沉积工艺所需的电子级三氯化铝，作为固体前驱体沉积High-K氧化铝介电层。
| 电子级三氯化铝 Electronic grade aluminium trichloride | 用于半导体薄膜沉积工艺的高纯度三氯化铝固体前驱体，纯度不低于99.9999%，元素杂质含量严格控制。 |
| High-K氧化铝介电层 High-K aluminum oxide dielectric layer | 采用电子级三氯化铝作为前驱体通过原子层沉积等工艺制备的高介电常数氧化铝薄膜。 |
| 元素杂质 Elemental impurities | 三氯化铝中存在的砷、钙、铬等微量金属元素，其含量需满足表1规定的限值。 |
美利体育登录入口官网: SJ/T 12217-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 无水无氧惰性气氛操作箱（手套箱） 未指定 | 提供无水无氧环境进行样品取样和称量。 |
| 电子天平 精度0.1 mg | 用于精确称量样品。 |
| 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS） 未指定，仪器检出限：1 ng/kg~100 ng/kg | 用于测定三氯化铝中元素杂质含量。 |
| 百级超净工作台 未指定 | 提供ISO 5级或以上洁净环境用于样品前处理。 |
| 精密移液器 精度0.1 μl | 用于精确移取液体。 |
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关于三氯化铝的用途介绍
1、氯化铝主要用在傅-克反应中，例如以苯和光气为原料制备蒽醌，应用于染整工业中。 2、苯及其衍生物在发生上述反应时，主产物是对位的异构物。相比较下，烷基化反应涉及的问题较多，不如酰基化反应应用广泛。无论是哪种反应，氯化铝和其他原料和仪器都必须是中等干燥的，少量的水有助于反应进行。 由于氯化铝...
关于三氯化铝的基本介绍
氯化铝，是一种无机化合物，化学式为AlCl3，是氯和铝的化合物。氯化铝熔点、沸点都很低，且会升华，为共价化合物。熔化的氯化铝不易导电，和大多数含卤素离子的盐类（如氯化钠）不同。 AlCl3是“YCl3”结构，为Al3+立方最密堆积层状结构，而AlBr3中Al3+却占Br?最密堆积框架的相邻...
简述三氯化铝的泄露应急处理
隔离泄漏污染区，周围设警告标志，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质（木材、纸、油等）接触，用清洁的铲子收集于密闭容器中作好标记，等待处理。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除...
简述三氯化铝的物理性质
氯化铝，白色结晶性粉末，有强盐酸气味，工业品呈淡黄色。易溶于水、醇、氯仿、四氯化碳，微溶于苯。熔化的氯化铝不易导电，和大多数含卤素离子的盐类（如氯化钠）不同。氯化铝的水溶液完全解离，是良好的导电体。 氯化铝在178℃升华，它的蒸气是缔合的双分子。在空气中能吸收水分，一部分水解而放出氯化氢...