美利体育登录入口官网:SJ/T 12217-2026
电子级三氯化铝
Electronic grade aluminium trichloride
SJT12217-2026, SJ12217-2026
美利体育登录入口官网: SJ/T 12217-2026 发布历史
SJ/T 12217-2026由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 2026-06-01，并于 2026-12-01 实施。
SJ/T 12217-2026在国际标准分类中归属于: 31-030 电子技术专用材料。
SJ/T 12217-2026 电子级三氯化铝的最新版本是哪一版？
最新版本是 SJ/T 12217-2026 。
- 标准号
- SJ/T 12217-2026
- 发布时间
- 2026-06-01
- 标准名称
- 电子级三氯化铝
- 发布机构
- 中国人民共和国工业和信息化部
- 编制依据
- GB/T 1.1-2020
- 专利声明（未识别专利）
- 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
- 提出和归口信息
- 提出：中人民共和国工业和信息化部；归口：全国半导体美利体育官网首页网址和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）
- 起草信息
- 起草单位：南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造有限公司、上海集成电路材料研究院有限公司、全椒南大光电材料有限公司、苏州源展材料科技有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、南大光电（淄博）有限公司。主要起草人：陈德义、常华、罗文娇、曹可慰、童祎、王孝进、何伟、史泽远、徐文涛、张婷、陈冲、毛国玉、蔡慧妍、赵俊莎、张健、杨敏、茅炳荣、吴怡然、孙明璐、张鹏飞、黄杰、娄夏冰、徐耀中、彭元兵、关金锋、高加新、魏良杰、张鹏、顾洋洋、胡海琴、沈斌、高朋、孙建、陈鹏宇。
- 版本历史
- 报批稿
- 风险分析或特殊提示
- 三氯化铝室温下为白色或淡黄色的结晶固体，遇水释放出刺激性有毒气体盐酸或酸雾，操作处置应在具备局部通风或全面通风换气设施的场所进行，避免眼和皮肤的接触，避免吸入蒸汽，操作时应隔绝空气、湿气，穿戴防护眼镜、手套和防护服，工作现场应远离水源。
SJ/T 12217-2026 发布之时，引用了标准
- GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件
- GB 15258 化学品安全标签编写规定
- GB 15603 危险化学品仓库储存通则
- GB 190 危险货物包装标志
- GB/T 11446.1 电子级水
- GB/T 25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
- GB/T 32566 焊接不锈钢钢瓶
- GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
- GB/T 37837 四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则
- GB/T 6679 固体化工产品采样通则
- SJ/T 11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T 12217-2026的历代版本如下：
- 2026年 SJ/T 12217-2026 电子级三氯化铝
本文件规定了电子级三氯化铝产品的技术要求、美利体育登录入口官网方法、检验规则、标志、包装、运输及储存等。本文件适用于半导体行业薄膜沉积工艺所需的电子级三氯化铝，作为固体前驱体沉积High-K氧化铝介电层。
| 电子级三氯化铝 Electronic grade aluminium trichloride | 用于半导体薄膜沉积工艺的高纯度三氯化铝固体前驱体，纯度不低于99.9999%，元素杂质含量严格控制。 |
| High-K氧化铝介电层 High-K aluminum oxide dielectric layer | 采用电子级三氯化铝作为前驱体通过原子层沉积等工艺制备的高介电常数氧化铝薄膜。 |
| 元素杂质 Elemental impurities | 三氯化铝中存在的砷、钙、铬等微量金属元素，其含量需满足表1规定的限值。 |
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- 标准号
- SJ/T 12217-2026
- 别名
- SJT12217-2026
SJ12217-2026 - 发布
- 2026年
- ICS
-
31.030
- 总页数
- 11页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 12217-2026
- 引用标准
- GB 12463 GB 15258 GB 15603 GB 190 GB/T 11446.1 GB/T 25915.1 GB/T 32566 GB/T 3723 GB/T 37837 GB/T 6679 SJ/T 11637
美利体育登录入口官网: SJ/T 12217-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 无水无氧惰性气氛操作箱（手套箱） 未指定 | 提供无水无氧环境进行样品取样和称量。 |
| 电子天平 精度0.1 mg | 用于精确称量样品。 |
| 电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS） 未指定，仪器检出限：1 ng/kg~100 ng/kg | 用于测定三氯化铝中元素杂质含量。 |
| 百级超净工作台 未指定 | 提供ISO 5级或以上洁净环境用于样品前处理。 |
| 精密移液器 精度0.1 μl | 用于精确移取液体。 |
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关于三氯化铝的用途介绍
1、氯化铝主要用在傅-克反应中，例如以苯和光气为原料制备蒽醌，应用于染整工业中。 2、苯及其衍生物在发生上述反应时，主产物是对位的异构物。相比较下，烷基化反应涉及的问题较多，不如酰基化反应应用广泛。无论是哪种反应，氯化铝和其他原料和仪器都必须是中等干燥的，少量的水有助于反应进行。 由于氯化铝...
关于三氯化铝的基本介绍
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简述三氯化铝的泄露应急处理
隔离泄漏污染区，周围设警告标志，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质（木材、纸、油等）接触，用清洁的铲子收集于密闭容器中作好标记，等待处理。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除...
简述三氯化铝的物理性质
氯化铝，白色结晶性粉末，有强盐酸气味，工业品呈淡黄色。易溶于水、醇、氯仿、四氯化碳，微溶于苯。熔化的氯化铝不易导电，和大多数含卤素离子的盐类（如氯化钠）不同。氯化铝的水溶液完全解离，是良好的导电体。 氯化铝在178℃升华，它的蒸气是缔合的双分子。在空气中能吸收水分，一部分水解而放出氯化氢...