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美利体育登录入口官网:NF EN ISO 14644-10:2022
洁净室和相关受控环境 - 第 10 部分：表面化学清洁度评估

Clean rooms and related controlled environments - Part 10: Assessment of the chemical cleanliness of surfaces


标准号
NF EN ISO 14644-10:2022
发布
2022年
发布单位
法国标准化协会
当前最新
NF EN ISO 14644-10:2022
 
 
 
 
本体
化学污染物 化学表面清洁度
介绍
该标准提供了用于洁净室及相关控制环境中表面化学清洁度的评估方法。内容包括了样品采集、分析技术以及数据解释，旨在为相关环境中的表面清洁度提供一致和可比性的评价手段。

***此介绍可能不准确，请注意参考原文。

术语描述
chemische Kontamination
chemical contamination		指可能对产品、工艺或美利体育官网首页网址造成损害的非颗粒化学物质。
chemische Luftreinheit
air cleanliness by chemical concentration		以 ISO 级别 N 表示，代表特定化学状态或化学组分的最高允许浓度，单位为 g/m?。
chemische Oberfl?chenreinheit
surface cleanliness by chemical concentration		表征表面化学浓度的状态，通常以 g/m? 表示。
feste Oberfl?che
solid surface		区分固相与其他相（如气体或液体）的边界。
Kontaminantengruppe
contamination group		指在目标表面沉积并表现出特定有害影响的一类化合物。

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