表征洁净室表面化学污染物浓度的指标，以单位面积克数(g/m?)表示，是微电子等行业的重要质量控制参数。
| 标准号 & 类别 | 标准名称 | 发布 |
|---|---|---|
| DANSK DS/ISO 14644-10:2022 |
Cleanrooms and associated controlled environments – Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
化学污染物 |
2022-05-23 丹麦标准化协会 |
| DIN EN ISO 14644-10 E:2011-06 规范 |
洁净室和相关控制环境 第10部分：采用化学浓度法对表面洁净度的分类（草案） Clean rooms and related controlled environments Part 10: Classification of surface cleanliness using the chemical concentration method (draft)
化学污染 |
2011-06 德国标准化学会 |
| DIN EN ISO 14644-10 E:2022-02 |
草案文件 洁净室及相关受控环境 第10部分：化学污染表面清洁度的评估（ISO/FDIS 14644-10:2021） 德语和英语版本 prEN ISO 14644-10:2021 Draft Document - Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO/FDIS 14644-10:2021); German and English version prEN ISO 14644-10:2021
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2022-02-28 德国标准化学会 |
| DIN EN ISO 14644-10 E:2022-03 规范 |
洁净室和相关控制环境 第10部分：采用化学浓度法对表面洁净度的分类（草案） Clean rooms and related controlled environments Part 10: Classification of surface cleanliness using the chemical concentration method (draft)
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2022-03 德国标准化学会 |
| DIN EN ISO 14644-10:2022 |
洁净室和相关受控环境 第10部分：化学污染表面清洁度的评估（ISO 14644-10:2022） Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
化学污染物 |
2022-10-01 德国标准化学会 |
| DIN EN ISO 14644-10:2022-02 |
草案 洁净室和相关受控环境 第10部分：化学污染表面清洁度评估 (ISO/FDIS 14644-10:2021) Draft Document - Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO/FDIS 14644-10:2021); German and English version prEN ISO 14644-10:2021
化学污染物 |
2022-02-28 德国标准化学会 |
| DIN EN ISO 14644-10:2022-10 试验/规范 |
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022); German version EN ISO 14644-10:2022
化学污染物 |
2022-10 德国标准化学会 |
| LST EN ISO 14644-10:2022 |
洁净室及相关受控环境 第10部分：基于化学污染的表面清洁度评估（ISO 14644-10:2022） Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
化学污染物 |
2022-07-29 立陶宛标准局 |
| NF EN ISO 14644-10:2022 |
洁净室和相关受控环境 - 第 10 部分：表面化学清洁度评估 Clean rooms and related controlled environments - Part 10: Assessment of the chemical cleanliness of surfaces
化学污染物 |
2022-05-18 法国标准化协会 |
| NF X44-101-10*NF EN ISO 14644-10:2022 |
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
化学污染物 |
2022-05-18 法国标准化协会 |
| SS-EN ISO 14644-10:2022 |
洁净室及相关受控环境 第10部分：化学污染表面清洁度的评估（ISO 14644-10:2022） Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
化学污染物 |
2022 瑞典标准研究所 |
| UNE-EN ISO 14644-10:2022 |
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
化学污染物 |
2022-11-30 西班牙标准化协会 |
| UNI EN ISO 14644-10:2022 |
白色房间和相关受控环境 第10部分：通过化学浓度分类表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
化学污染物 |
2022-07-07 意大利统一标准化组织 |
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